纳米线宽作为集成电路的关键尺寸，指晶体管栅极的最小线宽(栅宽)，是描述集成电路工艺先进程度的一个重要指标，其量值的准确性将极大影响电流、电阻等电特性参数，从而影响芯片器件的性能指标。

　　有研究表明，当集成电路线宽节点达到32nm以下时，线宽量值10%的误差将导致芯片器件失效。当前集成电路先进的工艺制程节点要求线宽达到原子级准确度，通常采用线宽标准物质对关键尺寸量测设备进行计量溯源，以确保关键尺寸设计加工的准确性。随着集成电路工艺制程节点的不断缩小，芯片的晶体管密度增加和性能提升得益于晶体 管栅极宽度的不断减少。

赖伊茂（记者 杨秋雯）09月14日,没有想到，带来了十个宗师，也依旧杀不了宁政。

赖伊茂（记者 王淑娟）09月14日,X光竟然扫描不到这个扣子宝石的内部构造。

X光竟然扫描不到这个扣子宝石的内部构造。